发明名称 |
METHOD OF TRANSFERRING A SURFACE RELIEF PATTERN FROM A WET POLY(OLEFIN SULFONE) LAYER TO A METAL LAYER |
摘要 |
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申请公布号 |
US4126712(A) |
申请公布日期 |
1978.11.21 |
申请号 |
US19760710134 |
申请日期 |
1976.07.30 |
申请人 |
RCA CORPORATION |
发明人 |
POLINIAK, EUGENE S.;DESAI, NITIN V. |
分类号 |
G03F7/039;G03F7/26;(IPC1-7):B05D3/06 |
主分类号 |
G03F7/039 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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