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发明名称
摘要
申请公布号 FR2315804(B1) 申请公布日期 1978.11.17
申请号 FR19760013470 申请日期 1976.04.29
申请人 IBM 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/331;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;H01L29/73;H03K19/173;(IPC1-7):03K19/08;01L27/06 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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