发明名称 PRODUCTION OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPS53129982(A) 申请公布日期 1978.11.13
申请号 JP19770045318 申请日期 1977.04.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OOSONE TAKASHI;TSUJI KAZUHIKO;HORIUCHI SHIROU
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址