发明名称 IMPURITY ANALYSIS METHOD OF RAW MATERIALS FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS53124498(A) 申请公布日期 1978.10.30
申请号 JP19770039702 申请日期 1977.04.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZEKI MASASHI;OOKAWA TANJI;KITAHARA KUNINORI
分类号 G01N21/64;G01N21/00;G01N33/00 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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