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发明名称
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS53121466(A)
申请公布日期
1978.10.23
申请号
JP19770035451
申请日期
1977.03.31
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
IIZUKA HISAKAZU
分类号
H01L21/322;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/324
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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