发明名称 CIRCUIT ELEMENT STRUCTURING BODY
摘要 <p>PURPOSE:To make circuit element structuring bodies of a miniature size and high scale of integration by making electrode lead-out layers and wirings by poly-Si layers of varied layer thicknesses.</p>
申请公布号 JPS53116788(A) 申请公布日期 1978.10.12
申请号 JP19770031064 申请日期 1977.03.23
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAKASHIMA SEIICHI
分类号 G11C17/06;G11C17/00;G11C17/14;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/06 主分类号 G11C17/06
代理机构 代理人
主权项
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