发明名称 |
CIRCUIT ELEMENT STRUCTURING BODY |
摘要 |
<p>PURPOSE:To make circuit element structuring bodies of a miniature size and high scale of integration by making electrode lead-out layers and wirings by poly-Si layers of varied layer thicknesses.</p> |
申请公布号 |
JPS53116788(A) |
申请公布日期 |
1978.10.12 |
申请号 |
JP19770031064 |
申请日期 |
1977.03.23 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
NAKASHIMA SEIICHI |
分类号 |
G11C17/06;G11C17/00;G11C17/14;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/06 |
主分类号 |
G11C17/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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