发明名称 CHIP COATING METHOD IN ELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号 JPS53116075(A) 申请公布日期 1978.10.11
申请号 JP19770030317 申请日期 1977.03.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITAGAKI TATSUO;KOBAYASHI MASAMICHI;KATOU HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/302;H01L21/312;H01L21/56 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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