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发明名称
Improvements in or relating to sputtering apparatus
摘要
申请公布号
GB994911(A)
申请公布日期
1965.06.10
申请号
GB19620032702
申请日期
1962.08.24
申请人
LITTON SYSTEMS, INC.
发明人
分类号
B08B7/00;C23C14/35;H01J37/34
主分类号
B08B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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