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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABEHANDLUNG BEI DER HALBLEITERHERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE2810554(A1) 申请公布日期 1978.09.14
申请号 DE19782810554 申请日期 1978.03.10
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 KUDO,DAIZIRO
分类号 H01L21/205;B65G49/07;C23C16/509;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/20;B23K28/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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