| 发明名称 |
BOARDING JIG FOR SUBSTRATE USED FOR METHOD OF REDUCED PRESSURE GASEOUS GROWING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53105974(A) |
申请公布日期 |
1978.09.14 |
| 申请号 |
JP19770020304 |
申请日期 |
1977.02.28 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
ENDOU YOSHIHIDE;KUROKAWA HARUSHIGE;SUZUKI MASUO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/314 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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