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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5337587(Y2)	申请公布日期	1978.09.12
申请号	JP19770022320U	申请日期	1977.02.24
申请人		发明人
分类号	G01S7/48;G01S7/481;H01L31/12;(IPC1-7):H01L31/12	主分类号	G01S7/48
代理机构		代理人
主权项
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