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发明名称 IONENAETZVERFAHREN ZUM STRUKTURIEREN VON HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE2708792(A1) 申请公布日期 1978.09.07
申请号 DE19772708792 申请日期 1977.03.01
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 FISCHER,KONRAD,DR.RER.NAT.
分类号 H01L21/423;H01L29/221;(IPC1-7):H01L21/42 主分类号 H01L21/423
代理机构 代理人
主权项
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