发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE WITH PN JUNCTION
摘要
申请公布号 JPS5396666(A) 申请公布日期 1978.08.24
申请号 JP19770010678 申请日期 1977.02.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 MURAMATSU AKIRA;NIINO KAORU;MASAKI MOTOFUMI
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/322;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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