| 发明名称 |
VAPOR GROWTH METHOD FOR GAAS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5394871(A) |
申请公布日期 |
1978.08.19 |
| 申请号 |
JP19770010041 |
申请日期 |
1977.01.31 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ODA TAKAO;ISHII TAKASHI;MITSUI SHIGERU |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/42;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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