| 发明名称 |
DEVICE FOR DRAWING SCAN PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5393371(A) |
申请公布日期 |
1978.08.16 |
| 申请号 |
JP19770007729 |
申请日期 |
1977.01.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HARA YASUHIKO;OKAMOTO KEIICHI;HAMADA TOSHIMITSU;UTO YUKIO |
| 分类号 |
G03B27/02;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;H05K3/00 |
主分类号 |
G03B27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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