发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5387680(A) 申请公布日期 1978.08.02
申请号 JP19770002620 申请日期 1977.01.12
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 TAKAHASHI SHIGERU
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/76;H01L27/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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