发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5384679(A) 申请公布日期 1978.07.26
申请号 JP19760160643 申请日期 1976.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ANDOU NOBORU
分类号 H01L23/48;H01L21/60 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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