发明名称 PROCESSO PER LA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI SEMICONDUTTORI.
摘要
申请公布号 IT7826098(D0) 申请公布日期 1978.07.26
申请号 IT19780026098 申请日期 1978.07.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/3215;H01L27/04;H01L29/08;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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