发明名称 FORMING METHOD OF ISOLATING REGIONS
摘要
申请公布号 JPS5383482(A) 申请公布日期 1978.07.22
申请号 JP19760158653 申请日期 1976.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAKURAI TERUO;NISHI HIDETOSHI;INADA TSUGUO;FURUYA TSUNEO
分类号 H01L21/761;H01L21/265;H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
地址