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发明名称
THIN FILM FORMATION METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS5381095(A)
申请公布日期
1978.07.18
申请号
JP19760158357
申请日期
1976.12.27
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
YASUDA YUKIO
分类号
H01L21/3205;H01L21/28
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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