发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5380166(A) 申请公布日期 1978.07.15
申请号 JP19760156770 申请日期 1976.12.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOTANI KOUICHIROU;OOKAWA TANJI
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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