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发明名称 GAS ETCHING METHOD OF SILICON NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS5379800(A) 申请公布日期 1978.07.14
申请号 JP19770147300 申请日期 1977.12.09
申请人 ITT 发明人 KURAUSU PASHIYUKE
分类号 C01B21/068;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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