| 发明名称 |
RADIOOACTIVE RAY SENSITIVE MATERIAL |
| 摘要 |
PURPOSE:To form minute and high precision pattern with ease by increasing sensitivity to radio-active rays by copolymerizing isopropenyl acetate with a monomer convertible to posi-type radio-active ray sensitive polymer. |
| 申请公布号 |
JPS5378835(A) |
申请公布日期 |
1978.07.12 |
| 申请号 |
JP19760153351 |
申请日期 |
1976.12.22 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
MIYAMURA MASATAKA |
| 分类号 |
G03F7/039;G03C1/72;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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