发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MEASURING JIG
摘要
申请公布号 JPS5375870(A) 申请公布日期 1978.07.05
申请号 JP19760150947 申请日期 1976.12.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 KURONO HIROKAZU;SAITOU KATSUTOSHI
分类号 G01R1/067;G01R1/06;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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