| 发明名称 |
PYROLYTIC DEPOSITION OF SILICON DIOXIDE ON SEMICONDUCTORS USING A SHROUDED BOAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4098923(A) |
申请公布日期 |
1978.07.04 |
| 申请号 |
US19760693382 |
申请日期 |
1976.06.07 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
ALBERTI, ROBERT STANLEY;GOLDMAN, JON CHARLES |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/458;H01L21/316;(IPC1-7):B05D5/12 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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