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发明名称 ROTARY VACUUM CHUCK TABLE
摘要
申请公布号 JPS5374374(A) 申请公布日期 1978.07.01
申请号 JP19760149721 申请日期 1976.12.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 KABASHIMA AKIRA
分类号 B23Q3/08;B25B11/00;G11B5/84;H01L21/304;H01L21/68 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
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