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发明名称 INSTALLATION FOR GROWING EPITAXIAL STRUCTURES FROM GAS PHASE
摘要
申请公布号 SU612317(A1) 申请公布日期 1978.06.25
申请号 SU19752185810 申请日期 1975.11.13
申请人 G REVOLYUTSII NI PI REDKOMETALLICHESKOJ PROMY "GIREDMET" 发明人 BOCHKAREV ELLIN P,SU;GOLDIN GRIGORIJ B,SU;KOROBOV OLEG E,SU;MASLOV VADIM N,SU;KHLEBNIKOV VALENTIN P,SU
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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