| 发明名称 |
PROCESS FOR LOW TEMPERATURE STOICHIOMETRIC RECRYSTALLIZATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR FILMS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US4095004(A) |
申请公布日期 |
1978.06.13 |
| 申请号 |
US19770783257 |
申请日期 |
1977.03.31 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
FRAAS, LEWIS M.;BLEHA, JR., WILLIAM P. |
| 分类号 |
C30B1/02;C30B1/04;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/36;H01L21/20 |
主分类号 |
C30B1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
