| 发明名称 |
FINE SLIT DEVICE |
| 摘要 |
<p>PURPOSE:To obtain fine slits having fine patterns of high accuracy and free from deformation.</p> |
| 申请公布号 |
JPS5361975(A) |
申请公布日期 |
1978.06.02 |
| 申请号 |
JP19760137665 |
申请日期 |
1976.11.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
WATAKABE KIMIKO;KATOU TADAO;KOMIYA HIROYOSHI |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F1/68;H01L21/30;H01L21/306;H05K3/06 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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