发明名称 PRODUITS A BASE D'ACIDES ARYLSULFONIQUES ET DE COMPOSES ARYLIQUES CHLORES OU ALKYLARYLIQUES, POUR L'ENLEVEMENT DE SUBSTANCES POLYMERES ORGANIQUES
摘要 <P>Solutions d'enlèvement de substances photorésistantes. </P><P>Ces solutions d'enlèvement comprennent 30-80 % en poids d'un ou de plusieurs acides arylsulfoniques non substitués ou à substitution alkylique, mélangés avec des composés aryliques chlorés, des composés alkylaryliques ayant 1-14 atomes de carbone dans le groupe alkyle, un hydrocarbure isoparaffinique, ou des mélanges de tous ces produits. </P><P>La présente invention est particulièrement utile pour fournir des solutions exemptes de composés phénoliques, pour retirer des substances polymères organiques à partir de substrats minéraux.</P>
申请公布号 FR2370089(A2) 申请公布日期 1978.06.02
申请号 FR19770033310 申请日期 1977.11.04
申请人 ALLIED CHEMICAL CORP 发明人
分类号 H01L21/30;C11D1/22;C11D3/34;C11D3/43;G03F7/00;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):C11D1/04 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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