发明名称 PROCEDIMIENTO PARA FORMAR UNA CAPA EPITAXIAL DE UN MATERIAL SOBRE UNA SUPERFICIE DE UN SUBSTRATO.
摘要
申请公布号 ES462931(A1) 申请公布日期 1978.06.01
申请号 ES19310004629 申请日期 1977.10.05
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED 发明人
分类号 C30B25/02;C30B25/04;C30B25/12;C30B25/18;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):01L/ 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
地址