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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5352060(A) 申请公布日期 1978.05.12
申请号 JP19760126869 申请日期 1976.10.22
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SAKAI KIYOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/73 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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