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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5347782(A) 申请公布日期 1978.04.28
申请号 JP19760121923 申请日期 1976.10.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORINO NOZOMI;WADA YASUO
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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