发明名称 APPARATUS FOR BONDING
摘要
申请公布号 JPS5345970(A) 申请公布日期 1978.04.25
申请号 JP19760119815 申请日期 1976.10.07
申请人 TESU KK 发明人 TOMITANI HIROSHI;YAMAMOTO TOSHIYUKI
分类号 H01L21/60;H01L21/68 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址