| 发明名称 |
PERFECCIONAMIENTOS INTRODUCIDOS EN UNA DISPOSICION PARA LA MEDICION Y CONTROL DE ESPESORES DE CAPAS DELGADAS OPTICAMEN-TE ACTIVAS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ES459933(A1) |
申请公布日期 |
1978.04.16 |
| 申请号 |
ES19330004599 |
申请日期 |
1977.06.20 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAUS GMBH & CO. KG. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):G01B/;C23C/;G01J/;G05D/ |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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