发明名称 IMPURITY DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5339858(A) 申请公布日期 1978.04.12
申请号 JP19760115071 申请日期 1976.09.24
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMAGISHI SOUKICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/223 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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