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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5341068(U) 申请公布日期 1978.04.10
申请号 JP19760123127U 申请日期 1976.09.13
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;B05C11/10;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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