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发明名称
摘要
申请公布号 DE2624859(C2) 申请公布日期 1978.04.06
申请号 DE19762624859 申请日期 1976.06.03
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 8000 MUENCHEN 发明人 FRITZSCHE, CHRISTIAN, DIPL.-PHYS. DR.RER.NAT., 7800 FREIBURG
分类号 C23C14/48;(IPC1-7):C03C17/06;H01L21/26 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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