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发明名称 WORKPIECE POSITIONING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB1506363(A) 申请公布日期 1978.04.05
申请号 GB19760023766 申请日期 1976.06.09
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01J37/20;B23K15/00;B23Q1/62;B23Q11/08;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):B25J21/00 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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