发明名称 PROCEDIMIENTO PARA DESARROLLAR UNA CAPA SEMICONDUCTORA NATI-VA.
摘要 Procedimiento para desarrollar una capa semiconductora nativa que comprende las fases de colocar un substrato semiconductor en ambiente de oxígeno dirigir un haz de electrones hacia el substrato.
申请公布号 ES459808(A1) 申请公布日期 1978.04.01
申请号 ES19080004598 申请日期 1977.06.15
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED 发明人
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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