| 发明名称 |
APPARATUS FOR CONTROLLING VAPOUR PRESSURE IN LIQUIDDGROWTH FURNACE FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5334464(A) |
申请公布日期 |
1978.03.31 |
| 申请号 |
JP19760108546 |
申请日期 |
1976.09.10 |
| 申请人 |
STANLEY ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TEJIMA TOORU;MORI KIJIYUU |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208;H01L33/30 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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