发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR EPITAXIAL GROWN LAYER
摘要
申请公布号 JPS5334465(A) 申请公布日期 1978.03.31
申请号 JP19760109015 申请日期 1976.09.10
申请人 SHARP KK 发明人 HAYASHI HIROSHI;SAKURAI TAKESHI;MURATA KAZUHISA
分类号 C30B19/12;H01L21/208 主分类号 C30B19/12
代理机构 代理人
主权项
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