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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5333580(A) 申请公布日期 1978.03.29
申请号 JP19760108586 申请日期 1976.09.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITOU TAKASHI;NOZAKI TAKAO
分类号 H01L21/336;H01L21/314;H01L21/318;H01L29/76;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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