发明名称 TREATING APPARATUS BY ACTIVATED GAS
摘要
申请公布号 JPS5332883(A) 申请公布日期 1978.03.28
申请号 JP19760107261 申请日期 1976.09.09
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 ARAI SAKAE
分类号 C23C16/54;B01J19/08;B05D3/04;C08J7/00;D06B19/00 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
地址