发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5329673(A) 申请公布日期 1978.03.20
申请号 JP19760104007 申请日期 1976.08.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 ADACHI GENICHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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