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发明名称 VERFAHREN ZUR IN SITU-VORBEHANDLUNG UND ZUR BESCHICHTUNGVON SUBSTRATEN MIT DUENNEN SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD142966(A1) 申请公布日期 1980.07.23
申请号 DD19790212690 申请日期 1979.05.07
申请人 VOIGT,REINHARD,DD;SCHREIBER,HARTMUT,DD;SCHADE,KLAUS,DD;TESCHNER,GOETZ,DD;WENDLER,GUENTER,DD 发明人 VOIGT,REINHARD,DD;SCHREIBER,HARTMUT,DD;SCHADE,KLAUS,DD;TESCHNER,GOETZ,DD;WENDLER,GUENTER,DD
分类号 C23C14/02;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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