| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5326574(A) |
申请公布日期 |
1978.03.11 |
| 申请号 |
JP19760100925 |
申请日期 |
1976.08.24 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SUGIOKA SHIYUUJI;KOYASU TSUNEYUKI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/74 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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