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发明名称 INJEKTIONSLASERVIELFACHANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE2735318(A1) 申请公布日期 1978.03.09
申请号 DE19772735318 申请日期 1977.08.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CLEARY MCGRODDY,JAMES;STEPHEN ZORY JUN.,PETER
分类号 H01L23/48;H01S5/00;H01S5/024;H01S5/042;H01S5/40;(IPC1-7):H01S3/04;H01S3/19 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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