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发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM FINE PATTERNS
摘要
申请公布号 JPS5320770(A) 申请公布日期 1978.02.25
申请号 JP19760095113 申请日期 1976.08.10
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ASAKAWA KIYOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/3063 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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