发明名称 VERFAHREN ZUR KONTINUIERLICHEN HERSTELLUNG VON SILICIUMSTAEBEN ODER -ROHREN
摘要
申请公布号 DE2618398(B2) 申请公布日期 1978.02.23
申请号 DE19762618398 申请日期 1976.04.27
申请人 发明人
分类号 C01B33/02;B28B21/00;C01B33/035;C23C16/01;C23C16/24;C30B25/00;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/02;C23C11/00 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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